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震安科技(深圳)有限公司
聯(lián)系地址:
深圳市寶安區(qū)福海街道和秀西路和景工業(yè)園13棟
電子郵件:
fansheng@zhenankj.com
詳細(xì)介紹:
設(shè)備名稱:震安-6001半自動(dòng)晶圓清洗機(jī)
* 專用于清洗切割后之晶片(Wafer)或玻璃片表面微塵
* 高速離心脫水,工件表面無(wú)水痕殘留
* 清洗流程:二流體清洗(可分段設(shè)置)-離心干燥
* 采用二流體清洗裝置,能有效的提高清洗效果
* 配備除靜電離子風(fēng)系統(tǒng)
* 配備空氣過(guò)濾系統(tǒng),使用壓縮空氣更加潔凈
* 整體不銹鋼鏡面機(jī)身堅(jiān)固耐用,耐酸性、堿性等清洗液
基本參數(shù):
* 清洗盤尺寸:8寸或以下 (采用標(biāo)準(zhǔn)或定制化陶瓷吸盤)
* 清洗方式:二流體清洗
* 干燥方式:高速離心脫水
* 電機(jī)較大轉(zhuǎn)數(shù):2840r/min ,設(shè)備安全轉(zhuǎn)數(shù)設(shè)定:100-1800 r/min(可調(diào))
* 壓縮空氣:0.45~0.7Mpa
* 電阻率:>17 MΩ
* 純水接入水壓:>2.0Kg
* 空氣過(guò)濾精度:0.01UM
* 可清洗Particle顆料最小直徑:0.5um
* 設(shè)備材料:整機(jī)鏡面不銹鋼
* 機(jī)器凈重:100KG
* 控制方式:PLC+觸摸屏
* 電源:220V 50HZ(較大功率3KW)
* 機(jī)器尺寸:520mm(L) ×640mm(W) × 1600mm(H)